壓力傳感器的分類

壓力傳感器是運(yùn)用最為廣泛的一種傳感器，應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。

常用的壓力傳感器有應(yīng)變片壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、分散硅壓力傳感器、藍(lán)寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器。壓力傳感器按用途分類主要是壓力監(jiān)視、壓力丈量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的丈量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器，前者是被動(dòng)供電的，需要有外電源。后者是傳感器自身產(chǎn)生電荷，不需要外加電源，依據(jù)不同領(lǐng)域?qū)毫φ闪康木炔煌譃榈途群透呔鹊膲毫鞲衅鳌?/span>

傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技能的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技能的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。

半導(dǎo)體壓電阻型：半導(dǎo)體壓電阻抗分散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，經(jīng)過(guò)外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。

靜電容量型：靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容，將經(jīng)過(guò)外力（壓力）使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。（E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式